4. 組立

精密組立にも対応する技術と組立設備

半導体露光装置や液晶露光装置、各種光学機械の精密組立をしています。
繰返し位置決め精度2μを確保できる精密組立技術と、クリーンな組立環境で対応いたします。
光学製品の組立で培った技能を活かしたレンズ組立が出来ます。

• ゴミや埃を嫌う大型ユニット製品の組立が可能
• 製品に合わせた生産方式(セル生産、ライン生産)に対応可能
• 出荷前検査の他、組立中にも検査を行うことにより製品の品質を確保
• 定盤上で組立を行うため高精度組立が可能
• 部品点数最大1000点の組立実績
• レンズユニットの組立が可能

作業内容

メカ組立・調整・動作確認
エアー配管、ハーネスの引き回し
レンズユニットの組立

組立製品

• 半導体露光装置
• 液晶デバイス露光装置
• マイクロスコープ
• 高精度形状システム
• 真空観察室
• シール装着装置
• 電磁界測定機
• ウエハ外観検査装置
• 細胞培養顕微鏡

他